北京天宇恒创称重传感器厂家,电话:010-62362246 15011562127
  北京天宇恒创传感技术有限公司 首 页 公司简介 产品列表 典型应用 技术文章 联系我们 称重传感器生产厂家电话:010-62362246
称重传感器列表
称重传感器系列
称重模块
拉压力传感器系列
传感器附件系列
显示控制仪表系列
您当前的位置:北京天宇恒创称重传感器 >> 技术文章 >> 正文


天宇供应商—微型传感器的结构介绍

来源:称重传感器  日期:2012年08月13日


  随着传感器不断的向半导体化、集成化、小型化和智能化方向发展,传感器技术主要相为系统技术(或称微机械加工技术)发展。微型传感器是集微机械、微电子、微光学和数据处理软件等为一体的一门综合技术。下面介绍微型传感器的结构

1. 硅膜片结构是硅电容式和扩散硅式压力传感器常用的基本结构,由整体硅片经刻蚀技术获得

2. 悬臂梁结构,常用于加速度传感器,由于刻蚀技术和牺牲层技术获得,

3. 另一种是支撑膜结构,是应变式传感器的常用结构你,

4. 梁式谐振结构,谐振梁由牺牲层技术做在硅膜片上,并封装在真腔内,以提高振动梁的品质因数,直接感受测量作用的E型硅膜片,在其环形膜的上表面制作了一对差动作用的硅谐振梁,并封装在真空腔内。这种结构制成谐振式低压传感器。

特点及作用:

  在微机械装置中最不希望产生封应力、残余力和外界干扰等,特别是对高灵敏度的位传感器而言,它们的效应会反映在传感器的输出中,造成测量误差。为了显著减小这些因素对传感器敏感部分影响,可运用机械隔离技术的概念,设计合理结构,实现敏感部分与几座的解藕。


上一篇:称重传感器用到的各种定理、法则、效应     下一篇:生产设备下的压力传感器安装示意图

·推荐文章 >>   ·热门新闻 >>   ·相关文章 >>
·称重传感器安装
·郑重推荐:TL6D型六位高精度显示
·无线便携式汽车称重仪隆重推出!
·CHB力值显示控制仪
·TY5S/A五位双显测控仪表
·多路不锈钢接线盒
·虚拟仪器的最新发展
·拉力传感器的应用、结构及温度补
 
·无线称重测力传感器
·柱式称重模块批量出厂
·无线便携式汽车称重仪隆重推出!
·生产设备下的压力传感器安装示意
·拉力传感器对弹性元件材料的六大
·北京拉力传感器
·我公司对压力传感器的安装要求
·电容式称重传感器
 
·无线称重测力传感器
·我公司推出耐高温称重传感器
·典型应用
·称重显示控制仪表的应用
·电阻应变计在称重传感器中的地位
·实现小量程称重传感器测量大质量
·参加第24届中国国际测量控制与仪
·六线制称重传感器接线方式及注意
北京天宇恒创专业研发拉压力传感器,并配有称重模块称重仪表,欢迎选购!
网站首页 关于我们 人才招聘 网站地图
电话:010-62362246 传真:010-56651214 销售部地址:北京经济技术开发区文化园西路8号4号楼2116 邮编:100176
版权所有:北京天宇恒创传感技术有限公司 | 京ICP备09061162号